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ASML 第二代 EUV 光刻機跳票三年,一台恐將逼近 3 億美元天價

目前 ASML 是全球唯一一家能夠量產 EUV(極紫外光微影)光刻機的廠商,不管是現階段台積電、三星、Intel 的 7 nm 甚至是未來的 3 nm 與 2 nm 都需仰賴 ASML 的 EUV 光刻機,而單台 EUV 光刻機的售價超過 1 億美元,可以說是成本極高的機器。

ASML 的 EUV 光刻機目前使用的仍是第一代的版本,EUV 光源波長在 13.5 nm 左右,物鏡的 NA 數值孔徑是 0.33 所開發的一系列型號。

其中最早量產出廠的是 NXE:3400B,產能有限,一小時生產晶圓是 125 WPH,而目前的出貨主力是 NXE:3400C,產能提升到了 170 WPH,今年底還有全新的 NXE:3600D 系列將會出貨,產能是 160 WPH,價格為 1.45 億美元。

ASML 第二代 EUV 光刻機恐跳票三年,價格也將大漲

不過目前第一代 EUV 光刻機的 NA 指標太低,傳聞是第二代 EUV 光刻機的 NXE:5000 系列,有望將其物鏡的 NA 提升至 0.55,可以進一步提高光刻精度,而半導體製程想要突破 1 nm 的難關就要依靠下一代的光刻機了。

ASML 第二代 EUV 光刻機

然而,NA 0.55 的第二代 EUV 光刻機並沒有那麼容易製造,原本預計最快將會在 2023 年上市的 NXE:5000 系列,最新傳聞表示已經跳票,而且一下子就跳票三年,可能要等到 2025~2026 年才有機會上市。

不過時間延期還不是最糟的,第二代 EUV 光刻機的價格也同樣會大漲,一台 EUV 光刻機預估將達到 3 億美元,是目前第一代 EUV 光刻機的 2~3 倍。

這同時也意味著未來高階晶片製程的成本會極為昂貴,哪怕真的能做到 1 nm 的製程,這樣的成本可能也會令大多數公司卻步,目前來看恐怕只有 Apple 有這樣的本錢。